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　　材料本身所具有的功能，必須經(jīng)過正確的熱處理手法來到達。只要杰出的熱處理手法，才干實現(xiàn)咱們預想的功能希望。根據(jù)塑封模具資料功能要求，塑封模熱處理手法主要是高溫淬火、深冷處理、高溫回火，并多次重復，經(jīng)過這些不同的處理，到達最佳的模具功能。

　　1、高溫淬火

　　為了進步資料的剛性和耐磨損性，一般資料均需加熱到1030℃以上。高溫下，各種合金元素充沛溶解于奧氏體內(nèi)，以便在淬火時獲得高的基體硬度，一起為了確保零件不發(fā)生脫碳氧化，相應選用了真空處理。現(xiàn)在半導體行業(yè)界運用的高速率氣淬淬火爐，能夠在高真空條件下經(jīng)過氮氣維護對工件進行加熱，既確保了工件的脫碳氧化，又避免了合金元素的蒸騰。一起選用200-500Kpa范圍內(nèi)可調(diào)節(jié)氣體壓力，對工件進行淬火冷卻，在確保工件充沛淬透的一起又減少了變形。

　　2、深冷處理與高溫回火

　　高合金鋼在淬火后，因為其馬氏體改變點（Ms點）均高于室溫，為了進步硬度，確保尺寸穩(wěn)定性，一般要進行深冷處理和高溫回火，以確保剩余奧氏體充沛改變?yōu)榉€(wěn)定的回火馬氏體。咱們將經(jīng)過真空淬火后的工件，在室溫至100℃之間進行校對，然后放入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工件在不出爐的情況下，能夠在-140℃至230℃之間進行冷熱循環(huán)，確保工件不會因為進出爐而產(chǎn)生變形或開裂。一起因為選用氮氣維護也避免了工件在回火中的氧化開裂?，F(xiàn)在關于D2類資料，咱們一般在深冷設備中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環(huán)。關于高于230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，咱們選用了真空回火爐，在抽真空后，加入99.999%的高純氮氣作為介質，經(jīng)過吹風方向的改變來構成對流，確保了工件的溫度均勻性，一起節(jié)省了回火時刻。

　　3、其它輔佐手法

　　在進步了淬火回火及深冷處理質量的一起，咱們一起對工件的其它環(huán)節(jié)給予了充沛的注重，過去認為的熱處理工件潔凈度與處理無關的觀念現(xiàn)已被拋棄，添加潔凈預處理。行將未入爐零件，經(jīng)過真空清洗機進行真空去油、脫脂、干燥。去除了工件的各類加工油污和碎屑，確保了入爐工件不會帶入其它雜質，避免了在高溫加熱時雜質分化，污染爐內(nèi)環(huán)境和工件本身，從微觀上確保了工件的組織潔凈度和處理質量的完美性，進步了工件的運用壽命。

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